サムスン電子 半導体工程に韓国製フッ化水素の投入開始

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サムスン電子は、半導体生産の工程に韓国製フッ化水素の投入を開始している
韓国企業が製造した試作品を敏感度が低い工程から投じていると、同社関係者
年末を前後して完全に日本製フッ化水素の代替作業を完了できるとの見通しも
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サムスン電子がDRAMやNAND型フラッシュなどメモリー工程に日本製フッ化水素の代替品を投じ始めた。

日本政府が7月4日にフッ化水素、フォトレジスト、フッ化ポリイミドの先端素材3品目に対する対韓輸出規制に出てから1カ月半ぶりに代替材の投入に出たもの。

このようにサムスン電子やSKハイニックスで日本製フッ化水素の代替作業が予想より早く進み、年末を前後して完全に代替作業を完了できるだろうという見通しが出ている。

3日の半導体業界によると、サムスン電子は韓国のソルブレインとENFテクノロジーが製造したフッ化水素の納品を受け先月中旬から一部工程に投じ始めた。

2つの会社は中国製の無水フッ化水素酸を輸入して日本から輸入していた純度99.999%のフッ化水素の液状製品を作るのに成功した。


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ただ、国産フッ化水素を半導体生産のすべての工程ラインに投じる段階ではない。サムスン電子関係者は「韓国企業が生産したフッ化水素の試作品を敏感度が低い工程から順次投じており、敏感度が高い工程に広めていく方針」と説明した。

半導体の工程は500種類ほどで構成されており、このうちフッ化水素が必要な工程は50工程前後だ。サムスン電子はこのうち1~2工程から日本製に代わり国産製品を使っているという。

SKハイニックスもやはり韓国企業が生産したフッ化水素を近く試運転作業に投じる計画だ。今年に入り2度減産に入ったSKハイニックスは、日本発の素材不足では相対的に余裕がある方だ。

SKハイニックスは中国・無錫にある半導体生産ラインでは中国製フッ化水素で日本製の代替作業を完全に終えたという。

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